[纯水]、[超纯水]虽是实验用水的名词，却无法明确表示水的纯度。将水中的导电污染物质去除到电阻率达到18.2MΩ.cm@25℃时，就称为[超纯水]。

在此必须注意的是，电阻率只是代表水中电解质的含量，并不能表示不含其它的污染物质。也就是说，称为[超纯水]的水，还是可能含有不确定量的有机物、微粒、微生物等污染物质，会具有不同的TOC值。因此，必须同时使用[电阻率]与[TOC]来评估水质。

不论以任何纯化方式来去除污染物质，若无法达到18.2MΩ.cm@25℃的水，都称为[纯水]。例如[离子交换树脂水、[蒸馏水]、[反渗透水]等，都属于[纯水]。[蒸馏水]与[反渗透水]这一类的纯水，由于纯化速率较慢，都必须使用水箱储存后再供使用。因此，纯水在贮存过程中可能受到贮存器材的材质、混杂在空气中的污染物与微生物的污染，造成水质的劣化。所以，所谓的[纯水]也无法代表一定会有很好的质量。其水质会因为纯化方法与使用环境的不同而有所不同。